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AIS2100 电子显微镜
电子光学系统
分辨率 3.5nm
放大倍数 10-300,000X
图像二次电子图像SEI
背散射电子图像(可选)
彩色光学显微镜图像(可选)
电子束扫描模式搜索,观察,照相(3步)
加速电压 0.5KV-30KV
电子枪类型钨灯丝
偏压系统连续电压控制,与加速电压相连
电子枪校正4极电磁场型(自动/手动)
聚光镜二级电磁场
物镜一级电磁场
消色散8极电磁场型
探测器Bar型SE探测器(二次电子器件)
图像位移4极电磁场型
显示系统
桢内存Search1(320×240)，Search2(640×480)
观察（640×480)，照相（1280×960）
亮度，反差调节自动，复原功能
扫描速Search1(320×240)：12幅/秒
观察（640×480)：2.5幅/秒
照相（1280×960)：4幅/分
载物台系统
移动范围(X/Y/Z)mm60/70/65mm
倾斜-30～90°
旋转360°
电动X、Y及R为可选电动
真空系统
真空控制类型完全自动或手动
粗真空旋转机械泵
高真空旋转机械泵+扩散泵
旋转机械泵+涡轮分子泵(可选)
控制系统
计算机系统奔腾4处理器
内存256MB
操作系统控制数据界面
图像获得
色彩传输（可加伪彩色）
可选部件
可选BSE(背散射电子图像探测器)
可选能谱仪EDS（有液氮、无液氮均可）
用户定制载物台系统
安装环境
温度：22℃±2℃
湿度：70%以下
电源功率：单相220～240V交流电，5KW，60HZ
冷却水：20℃，1.5kg/cm2，2升
环境振动及EMI |
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